高純氬是一種純度高達(dá)99.9999%的氬氣，廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光電、金屬加工、化學(xué)分析等領(lǐng)域。其生產(chǎn)過程中涉及到多個關(guān)鍵技術(shù)，包括氬氣提純、氬氣液化、氬氣純化和氬氣儲存等。

起初，氬氣提純是高純氬生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)之一。目前常用的氬氣提純方法有多槽分餾法、冷卻分餾法和吸附分離法。多槽分餾法是將空氣經(jīng)過壓縮、冷卻后再通過多級分餾塔，利用氣體組分在不同高度的分理能力差異，實現(xiàn)不同組分的分離和提純。冷卻分餾法則是通過改變氣體壓力和溫度，在冷卻器中使不同組分的氣體冷卻至液態(tài)，然后通過分裝提取純氬。吸附分離法則是利用吸附劑對氣體的選擇性吸附特性進(jìn)行氣體組分的分離和提純，常用的吸附劑有活性炭、分子篩等。這些方法在氬氣提純過程中能夠有效去除雜質(zhì)氣體，提高氬氣純度。

其次，氬氣液化是實現(xiàn)高純氬生產(chǎn)的另一關(guān)鍵技術(shù)。氬氣在常壓下的沸點為-185.7°C，因此需要將氬氣冷卻至其沸點以下，使其轉(zhuǎn)化為液態(tài)。目前常用的氬氣液化方法有制冷機(jī)液化法、噴霧液化法和深冷循環(huán)液化法。制冷機(jī)液化法是利用制冷機(jī)對氬氣進(jìn)行連續(xù)冷卻，使其溫度降低至沸點以下，并通過升降溫器控制氬氣流速和溫度，終液化氬氣收集存儲。噴霧液化法則是將高速冷卻的氬氣噴霧到液化器中，利用液化器內(nèi)的制冷介質(zhì)對氬氣進(jìn)行冷卻和液化。深冷循環(huán)液化法是利用深冷循環(huán)系統(tǒng)對氬氣進(jìn)行連續(xù)冷卻和循環(huán)，從而達(dá)到液化目的。這些液化方法能夠有效地將氬氣液化，并確保其高純度。

此外，氬氣純化也是高純氬生產(chǎn)過程中的一個重要環(huán)節(jié)。氬氣中常常含有少量的氧氣、水蒸氣、氫氣、氮氣等雜質(zhì)，需要通過純化技術(shù)去除。常用的純化方法有吸附法、膜分離法和化學(xué)反應(yīng)法。吸附法是利用吸附劑對雜質(zhì)氣體的物理吸附特性進(jìn)行分離，常用的吸附劑有活性炭、分子篩等。膜分離法則是利用薄膜的選擇性透過特性進(jìn)行氣體組分的分離和純化，常用的膜材料有聚合物膜、無機(jī)膜等?；瘜W(xué)反應(yīng)法則是通過與雜質(zhì)氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使其轉(zhuǎn)化為易于分離的產(chǎn)物進(jìn)行純化，常用的反應(yīng)有氫氧化鋁吸收法和催化氧化法。這些純化方法能夠有效去除氬氣中的雜質(zhì)，提高氬氣的純度。

另外，氬氣儲存也是高純氬生產(chǎn)過程中不可或缺的一步。氬氣儲存既可以是氣體儲存，也可以是液態(tài)儲存。氣體儲存常用的方法有高壓儲存和液氮制冷儲存。高壓儲存是將氬氣充填到高壓容器中，通過增加氣體壓力來保持氬氣在氣態(tài)的狀態(tài)。液氮制冷儲存則是將液氮用作冷媒，通過制冷器對氬氣進(jìn)行冷卻和儲存。液態(tài)儲存則是將液態(tài)氬氣儲存在特定容器中，通過保持恒定的溫度和壓力來保持氬氣的液態(tài)。這些儲存方法能夠有效地保持氬氣的純度和穩(wěn)定性。

綜上所述，高純氬的生產(chǎn)過程中涉及到氬氣提純、氬氣液化、氬氣純化和氬氣儲存等多個關(guān)鍵技術(shù)。通過采用適當(dāng)?shù)姆椒ê凸に嚕梢詫崿F(xiàn)高純度氬氣的生產(chǎn)，并廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域。